维修半导体专用安川机械手控制器ERCR-SS33-B000

 

       广科师傅维修了一台2008年产的安川机械手半导体版控制器ERCR-SS33-B000，该控制器可搭配安川双臂晶圆搬运机器人XU-RC400M-B03，和XU-RC400M-B03。

 

维修半导体专用安川机械手控制器ERCR-SS33-B000

 

维修半导体专用安川机械手控制器ERCR-SS33-B000

 

维修半导体专用安川机械手控制器ERCR-SS33-B000

 

安川机械手半导体版控制器ERCR-SS33-B000特点：

超高定位重复精度，满足微米级芯片处理的要求；

内置专用减振算法，确保晶圆拾取过程中无震动或刮擦；

标准化IO接口，兼容预对准器和真空传感器；

内存大，可容纳多套晶圆处理工艺；

采用高速数字信号处理器，确保快速响应；

内置高精度编码器接口，兼容增量式与绝对值编码器，实现精准闭环；

支持位置控制、速度控制及转矩控制三种模式，并支持在线切换；

具备过流、过压、欠压及过热多重硬件保护功能，提升系统安全性。

采用全金属屏蔽外壳设计，具备较强的抗电磁干扰与辐射能力，适应半导体设备密集布线的环境。